Поліімід та фотодорезистська ультразвукова система розпилення

Доведено, що ультразвукові системи розпилення є придатними для різних застосувань, які потребують єдиних та повторюваних фоторезистів або поліімідних плівок. Контролюючи товщину від субмікрону до понад 100 мкм і вміючи покрити будь -яку форму або розмір, системи покриття є життєздатною альтернативою іншим методам покриття, такими як обертання та традиційне обприскування.

Поширені застосування поліімідних та фоторезистських покриттів включають, але не обмежуються ними MEMS, лінз, мікрофлюїдні пристрої, мікроелектроніку та фільтри. Системи покриття здатні покрити плоскі та 3D -субстрати, як правило, включаючи кремнієві чіпси, скло, кераміку та метали.

Ультразвукове обприскування - це простий, економічний та відтворюваний процес для фоторезистів та поліімідного покриття. Система ультразвукового покриття може точно контролювати швидкість потоку, швидкість покриття та кількість осадження за допомогою простих методів шарування. Низькошвидкісне ліплення розпилення визначає атомізований спрей як точну та керовану схему, щоб уникнути перенапруження та створити дуже тонкі та рівномірні шари.

Переваги ультразвукових поліімідів та фоторезистів покриття:

1. Уніфіковане покриття плівки різних поверхневих контурів.
2. Висока гнучкість у властивостях хімічних та покриттів.
3. Не закриваючи атомізуючий спрей.
4. Висока ефективність передачі з мінімальними відходами.
5. Високо відтворюваний процес зрілого розпилення.

Система ультразвукового розпилення використовує високочастотну звукову вібрацію для генерування м'якого туману, що складається з математично визначених крапель. Блокування усувається, оскільки для генерації спрею не використовується тиск, а краплі мають дуже вузький розмір розподілу крапель, що ще більше сприяє рівномірності шару осадження.