Ультразвукова технологія розпилення для осадження вакуумної пари
Система обприскування ультразвукової атомізації використовується для інтеграції у вакуумну камеру. За допомогою експериментів було доведено, що унікальна конструкція системи обприскування ультразвукової атомізації може бути інтегрована у вакуумну герметичну платформу, придатну для застосування, таких як осадження полімерної пари (PVD) та органічне хімічне осадження парів металу (MOCVD). Характерна низькошвидкісна атомізація, що генерується ультразвуковою системою розпилення атомізації, може створити хмару пари з щільним розподілом крапель та розміром крапель, що керується частотою. Через те, що ультразвукові форсунки працюють шляхом перетворення високочастотних звукових хвиль у механічні коливання, рідина в контакті з поверхнею насадки атомізується без додавання повітря чи газу, тому цілісність вакуумної камери не ослаблена під час процесу розпилення.
Технологія Ultrasonic Generator, інтегрована в систему обприскування ультразвукової атомізації, забезпечує необхідну електричну енергію для атомізації та оснащена вдосконаленою функцією балансування навантаження, яка може автоматично налаштуватись до адаптації до різних умов вакуумів, тим самим підтримуючи найбільш стійкі характеристики розпилення під час процесу вакууму.
Система обприскування ультразвукової атомізації підходить для високотемпературних вакуумних середовищ і має функцію охолодження та моніторингу температури для забезпечення відповідного теплового захисту.
Переваги застосування вакуумної камери:
- Електронні пристрої, призначені для балансування навантаження
- Захист та моніторинг високої температури
- Унікальна конструкція обмеження вакуумного стану
- Атомізація генерується за відсутності повітря/газу, підтримуючи цілісність вакууму
