Система напівпровідникового фоторезистного ультразвукового літографічного покриття

 

 

 

Ультразвукове напилення є простим, економічним і відтворюваним процесом нанесення фоторезисту під час обробки фотолітографічних пластин. Ультразвукова літографічна система напівпровідникового фоторезисту FUNSONIC використовує передову технологію шарування для точного контролю швидкості потоку, швидкості покриття та кількості осадження. Низькошвидкісне розпилення визначає розпилене розпилення як точний і контрольований шаблон, щоб уникнути надмірного розпилення та створити дуже тонкі та рівномірні шари.
Система ультразвукової літографії напівпровідникових фоторезистів FUNSONIC має переваги в нанесенні більш рівномірних покриттів, особливо вздовж верхньої частини бічних стінок канавок із високим співвідношенням сторін і V--подібних структур канавок. Відцентрове обертання не може нанести рівномірне покриття вздовж бічних стінок, не накопичуючи занадто багато фоторезисту на дні порожнини.
 

 

 

 

 

1. Рівномірне покриття плівкою різних контурів поверхні.
2. Здатність покривати канавки з високим співвідношенням сторін з чудовою рівномірністю.
3. Розпилювальний спрей, що не засмічується.
4. Здатність наносити дуже однорідні тонкі шари в один мікрон.
5. Повторюваний зрілий процес обприскування.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Популярні Мітки: напівпровідникова фоторезистна ультразвукова літографічна система покриття, Китай напівпровідникова фоторезистна ультразвукова літографічна система покриття виробники, постачальники, фабрика