Спеціальне покриття захисної плівки ультразвуковим напиленням перед різанням силіконової пластини

 

 

 

Ультразвукове розпилення спеціального покриття захисної плівки перед різанням кремнієвої пластини доведено як надійний, повторюваний та ефективний метод нанесення різних хімічних речовин на кремній перед різанням, шліфуванням і поліруванням для захисту пластини та нерівностей. Поширені хімічні речовини включають Z-Coat, PMMA та інші хімічні речовини, які легко видалити. Система насадок FUNSONIC може бути налаштована відповідно до конкретних вимог замовника до покриття та завдань щодо захисних плівок перед різанням кремнієвих пластин.
Спеціальне покриття захисної плівки ультразвукового розпилення перед різанням кремнієвої пластини можна наносити на будь-яку форму чи розмір, контролюючи товщину від субмікрон до понад 100 мікрон. Система покриття є реальною альтернативою іншим технологіям покриття, таким як ротаційне та традиційне розпилення.

 

 

 

 

 

Ультразвукові насадки мають важливе застосування в обробці фотолітографії. Виробники напівпровідників використовують технологію ультразвукового розпилення для розпилення проявника фоторезисту на підкладки мікросхем із кремнію та арсеніду галію, що є хімічною речовиною, яка може відображати схеми оптичного крокового зображення. Процес розпилення включає введення сопла над чіпом, а потім керування ультразвуковим соплом через три-осі XYZ і серводвигун для рівномірного розподілу покриття. Оскільки розбризкування ультразвукової насадки є м’яким і безперервним, це може покращити хімічну активність, підвищити ефективність прояву та зменшити відскок і відходи матеріалу. Дані показують, що технологія ультразвукового напилення може заощадити до 70% матеріалів і покращити контроль критичних розмірів.
Порівняно зі звичайним центрифугуванням перевага ультразвукових насадок полягає в тому, що вони можуть більш рівномірно розподіляти речовини та мінімізувати залежність розподілу рідини від натягу підлоги. Традиційне спінювання передбачає нанесення речовин у формі калюж або струмків на елемент чіпа, а потім їх розсіювання на підлозі за допомогою відцентрової сили. Цей спосіб вимагає спеціального регулювання температури та заряду випаровування розчинника, щоб переконатися в цілісності та однорідності покриття. Ультразвукові сопла, з іншого боку, розпилюють тканину на всю поверхню мікросхеми, створюючи не-запинну тонку плівку. Таким чином, немає потреби враховувати випаровування розчинника та поверхневі сили, а також не буде розпилення чи осадження на зворотному боці.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Популярні Мітки: ультразвукове напилення захисної плівки спеціального покриття перед різанням силіконової пластини, Китай ультразвукове напилення захисної плівки спеціального покриття перед різанням кремнієвої пластини виробники, постачальники, фабрика